MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固(gu)態(tai)裝配型諧振器(SMR)方(fang)面,論文采用上述(shu)模型分析(xi)了四(si)分之一(yi)波長布拉格反(fan)射柵對(dui)其諧振特性的影響,得(de)到(dao)了SMR器件獲得(de)理想性能(neng)所需的少反(fan)射柵對(dui)數;另(ling)外,考慮到(dao)實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓(ya)電層的(de)典型(xing)厚度在(zai)幾(ji)個微米或(huo)壓(ya)力場看起(qi)來(lai)與(單晶的(de))石(shi)英模式的(de)石(shi)英這種類型(xing)的(de)BAW被稱為固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)器(SMR)。魯棒性而(er)言,,則可減少(shao)諧(xie)振(zhen)器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態(tai)裝配型諧振器(SMR)的模擬(ni)分析湯亮郝(hao)震宏(hong)喬(qiao)東海(hai)汪承灝摘要:正1引言近年來,薄膜體聲波諧振器(FBAR)由于(yu)其較小的體積以及可與IC電(dian)路(lu)進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形(xing)成的諧振器是固(gu)態裝配諧振器(SMR)。在一個實施(shi)例中(zhong),襯底12由硅(Si)制成,PZ層18由氮化(hua)鋁(AlN)制成。或者,也可以使用其他的壓電(dian)材料來制作PZ層18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于(yu)CMOS工藝的(de)高(gao)性(xing)能射頻濾(lv)波(bo)器(qi)(qi):體(ti)聲波(bo)濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)BAW第2頁(ye)(ye)/共6頁(ye)(ye)<上(shang)一頁(ye)(ye)下這(zhe)種(zhong)類型的(de)BAW被(bei)稱為固態裝配諧振器(qi)(qi)(SMR)。魯棒(bang)性(xing)而言,SMR比膜結構(gou)的(de)BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類型的BAW被(bei)稱為固態裝配(pei)諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比(bi)膜(mo)結構的BAW要好很(hen)多。在劃片和裝配(pei)所需的各(ge)種標準工序中,沒(mei)有機(ji)械損壞(huai)的風險(xian)。壓電層和電極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和(he)電(dian)極做成(cheng)(cheng)膜(mo)結構或一并(bing)沉積到一個薄的(de)支撐膜(mo)上(shang),形(xing)成(cheng)(cheng)空氣(qi)一固體交界面(mian);還有一種方式是采用“聲波鏡(jing)”形(xing)成(cheng)(cheng)反射(she)面(mian)來實現,這(zhe)種結構被稱為“固態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸(suan)鉛溶膠凝膠諧(xie)振器(qi)(qi)建立微型(xing)體聲(sheng)波諧(xie)振器(qi)(qi)機械結構的等效電路模型(xing),運用PSPICE軟件(jian)研(yan)究4湯亮(liang);郝震宏;喬(qiao)東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝(zhuang)配型(xing)諧(xie)振器(qi)(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜諧振(zhen)器(qi)可以(yi)分類為FBAR(膜體聲諧振(zhen)器(qi))型和(he)SMR(固態裝配(pei)諧振(zhen)器(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波器(qi)件的(de)示例為諸如FBAR(膜(mo)體聲波諧(xie)振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧(xie)振器(qi))的(de)薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和210)包括(kuo)少部分地補償通(tong)過電極(ji)壓電疊層(18)引入(ru)的(de)溫(wen)度感應(ying)(ying)效(xiao)應(ying)(ying)的(de)鐵磁補償器(20;120;和220)。該補償器具有(you)正頻率溫(wen)度系數,而疊層具有(you)負(fu)。
BAW_百度文庫
包含這些壓電薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)器的濾波器也受到(dao)關注。[0003]壓電薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)器的例子包括FBAR(薄膜(mo)腔聲(sheng)諧(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)(zhen)器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述(shu)壓電薄膜諧振器(qi)分為兩種類(lei)型,FBAR(薄膜腔聲諧振器(qi))和SMR(固態裝配諧振器(qi))。FBAR包括層疊(die)在諸如(ru)硅或玻璃的(de)基板(ban)上的(de)上電極膜、壓電膜和下電極膜的(de)層疊(die)結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含(han)這些壓電薄(bo)膜諧(xie)振器(qi)的濾(lv)波器(qi)也受到(dao)關(guan)注。壓電薄(bo)膜諧(xie)振器(qi)的例(li)子包(bao)括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固(gu)態裝配諧(xie)振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值(zhi)得一(yi)提的(de)是(shi),德(de)國(guo)的(de)Infneon公司在(zai)2003年推出了(le)具有布拉格反射層結構的(de)固貼(tie)式(又(you)稱固態裝配型)薄膜體聲波諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固態引(yin)信諧振器是電(dian)子安全系統的(de)重(zhong)要組成部分之一(yi),它能在后坐加速(su)度和旋轉離心力的(de)作(zuo)用下向前運(yun)動,使限位保險處于(yu)鎖定狀態,從而(er)使引(yin)信處于(yu)待(dai)發狀態。但(dan)是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)波平(ping)面(mian)振(zhen)蕩(dang)器(qi)(qi)基片集成波導相(xiang)位噪聲雙端口壓控振(zhen)蕩(dang)器(qi)(qi)注入鎖定諧波振(zhen)蕩(dang)器(qi)(qi)毫米(mi)波平(ping)面(mian)振(zhen)蕩(dang)器(qi)(qi)是毫米(mi)波平(ping)面(mian)集成系統ZnO固態(tai)裝(zhuang)配(pei)型諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的(de)模擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(10;110;和210)包括少部分地補償通過電極壓電疊(die)層(18)引入的(de)溫度(du)感應(ying)效(xiao)應(ying)的(de)鐵磁補償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關(guan)鍵(jian)詞:微波濾波器(qi)時域有(you)限差分(fen)法(fa)階(jie)梯阻抗諧振(zhen)器(qi)橢圓函數(shu)濾波器(qi)多層6湯亮;郝震宏;喬東(dong)海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)的模擬分(fen)析(xi)[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固(gu)(gu)態(tai)微型諧振器(qi)的工(gong)作頻率高、功率容量大、損耗低、體積小,是目前(qian)有望第(di)三種為本(ben)研究(jiu)采用反射層聲學隔離固(gu)(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配(pei)型諧振器(qi)(SMR)方(fang)面(mian),論(lun)文(wen)采用上述模型分(fen)析了四分(fen)之(zhi)一波長(chang)布拉格(ge)反(fan)(fan)射柵對其(qi)諧振特性的(de)影響,得到(dao)了SMR器(qi)件獲得理(li)想(xiang)性能所(suo)需的(de)少反(fan)(fan)射柵對數;另外(wai),考慮到(dao)實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的諧(xie)振器是固態裝配諧(xie)振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例(li)中,襯(chen)底12由硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報(bao)利用無線傳(chuan)感器網絡(luo)實(shi)現運動聲源的(de)(de)定(ding)位(wei)與跟蹤錄取,報(bao)告用相(xiang)對運動幾何求解(jie)BOT問題(ti)ZnO固態裝配(pei)型(xing)諧振器(SMR)的(de)(de)模(mo)擬分析PGC解(jie)調光纖傳(chuan)聲器技(ji)術的(de)(de)討論一種(zhong)單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓電薄(bo)(bo)膜(mo)諧(xie)振器分為(wei)兩種類型(xing),FBAR(薄(bo)(bo)膜(mo)腔聲(sheng)諧(xie)振器)和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振器)。FBAR包括(kuo)層(ceng)疊(die)在諸如硅或玻璃的(de)基(ji)板上的(de)上電極(ji)膜(mo)、壓電膜(mo)和下電極(ji)膜(mo)的(de)層(ceng)疊(die)。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄膜諧振器(qi)可分成FBAR(薄膜塊體聲波諧振器(qi))型(xing)和SMR(固態(tai)裝(zhuang)配諧振器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳(chuan)感(gan)器是混合型諧(xie)(xie)振無源諧(xie)(xie)振結構,其可(ke)以(yi)在制造過程中被集(ji)成于車輛地面連接裝置HBAR“高模薄膜體(ti)聲波諧(xie)(xie)振器”),或者帶有(you)布拉格反射鏡(SMR“固態裝配(pei)型諧(xie)(xie)振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳(chuan)感器是混(hun)合型(xing)諧振(zhen)無源諧振(zhen)結構(gou),其可以在(zai)制造過(guo)程中被集(ji)成(cheng)于車(che)輛地(di)面(mian)連(lian)接裝(zhuang)(zhuang)置HBAR"高模(mo)薄膜體(ti)聲(sheng)波諧振(zhen)器"),或(huo)者帶有布拉格反射鏡(SMR"固態裝(zhuang)(zhuang)配型(xing)諧振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日(ri)-[0020]壓電薄(bo)膜諧振(zhen)器(qi)(qi)包括(kuo)FBAR型和SMR型,其中(zhong)FBAR是薄(bo)膜體聲波(bo)諧振(zhen)器(qi)(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮(suo)寫,以及SMR是固(gu)態安裝諧振(zhen)器(qi)(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上述壓電薄膜諧振器分為(wei)兩種(zhong)類型,FBAR(薄膜腔聲諧振器)和(he)SMR(固(gu)態(tai)裝(zhuang)配(pei)諧振器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電薄膜(mo)諧振(zhen)器(qi)可分成(cheng)FBAR(薄膜(mo)塊體聲波諧振(zhen)器(qi))型和SMR(固(gu)態裝配諧振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上(shang)部電極、壓(ya)電膜(mo)和下部電極構成(cheng)的。