MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在(zai)固態裝配型諧振器(SMR)方面,論文采用上述模(mo)型分(fen)析了(le)(le)四分(fen)之一(yi)波(bo)長布拉(la)格反(fan)射柵對其諧振特(te)性的(de)影(ying)響,得(de)到了(le)(le)SMR器件獲得(de)理想性能所(suo)需的(de)少反(fan)射柵對數;另外,考慮到實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的典型(xing)厚度在幾個(ge)微米(mi)或(huo)壓力場看(kan)起來與(yu)(單晶的)石(shi)英模式的石(shi)英這(zhe)種類型(xing)的BAW被稱為固(gu)態裝配諧(xie)振器(qi)(SMR)。魯棒性而言,,則可減少諧(xie)振器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態(tai)裝配(pei)型(xing)諧(xie)振器(qi)(SMR)的模(mo)擬分析(xi)湯(tang)亮郝震宏喬(qiao)東(dong)海汪承(cheng)灝摘要:正1引言近年來,薄膜體聲波諧(xie)振器(qi)(FBAR)由于其較小的體積以及可與IC電路進(jin)行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這(zhe)樣形(xing)成的諧振(zhen)器是固態裝配諧振(zhen)器(SMR)。在(zai)一個(ge)實施例中,襯(chen)底12由硅(gui)(Si)制(zhi)成,PZ層18由氮化鋁(AlN)制(zhi)成。或者,也(ye)可以(yi)使用其他的壓電材料來(lai)制(zhi)作(zuo)PZ層18。在(zai)一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于(yu)CMOS工(gong)藝的(de)高(gao)性(xing)能射頻濾波器(qi):體(ti)聲波濾波器(qi)BAW第2頁/共6頁<上一頁下這種類型的(de)BAW被稱為固態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)。魯棒性(xing)而言,SMR比膜結構的(de)BAW要好(hao)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這(zhe)種類型的BAW被稱為(wei)固態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi)(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的BAW要(yao)好很多。在劃(hua)片和裝(zhuang)配所(suo)需的各(ge)種標準(zhun)工(gong)序中,沒有機械損(sun)壞(huai)的風險。壓(ya)電(dian)層和電(dian)極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜結(jie)構(gou)或一并沉積到一個(ge)薄的支撐(cheng)膜上,形(xing)成空氣一固體交界面;還有(you)一種方式是采用“聲波鏡”形(xing)成反(fan)射面來實(shi)現,這種結(jie)構(gou)被(bei)稱為“固態裝(zhuang)配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦(tai)酸鉛溶(rong)膠凝膠諧(xie)振器(qi)建立(li)微(wei)型(xing)體聲(sheng)波(bo)諧(xie)振器(qi)機械(xie)結構的等效(xiao)電路(lu)模型(xing),運(yun)用PSPICE軟件(jian)研究4湯亮;郝震宏;喬(qiao)東海;汪承(cheng)灝;;ZnO固態裝配(pei)型(xing)諧(xie)振器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)可以分類為FBAR(膜體聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))型(xing)(xing)和(he)SMR(固態(tai)裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))型(xing)(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述(shu)聲波(bo)器(qi)(qi)件(jian)的示例為諸如(ru)FBAR(膜(mo)(mo)體(ti)聲波(bo)諧(xie)振器(qi)(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi)(qi))的薄膜(mo)(mo)諧(xie)振器(qi)(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(qi)(10;110;和210)包括少部分地補(bu)償通(tong)過電極(ji)壓電疊層(ceng)(18)引入的(de)溫(wen)度感應效應的(de)鐵磁(ci)補(bu)償器(qi)(20;120;和220)。該補(bu)償器(qi)具有(you)正頻率溫(wen)度系數,而疊層(ceng)具有(you)負。
BAW_百度文庫
包含這些壓電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)的濾波器(qi)也受(shou)到關注。[0003]壓電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)的例子包括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型(xing)和SMR(固態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓(ya)電(dian)薄膜(mo)(mo)(mo)諧(xie)振器(qi)分為(wei)兩種類型(xing),FBAR(薄膜(mo)(mo)(mo)腔(qiang)聲諧(xie)振器(qi))和(he)SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi))。FBAR包(bao)括層疊在諸如硅或玻璃(li)的基板上的上電(dian)極膜(mo)(mo)(mo)、壓(ya)電(dian)膜(mo)(mo)(mo)和(he)下(xia)電(dian)極膜(mo)(mo)(mo)的層疊結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含(han)這些(xie)壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器的(de)濾波器也(ye)受到關注。壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器的(de)例子包括(kuo)FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器,SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提的(de)(de)是,德國(guo)的(de)(de)Infneon公(gong)司在2003年推出了(le)具(ju)有布拉格反射層結(jie)構的(de)(de)固貼式(又稱固態裝配(pei)型)薄膜(mo)體聲波諧(xie)振器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態引信(xin)諧振器是(shi)電子安全系統的重要(yao)組成部分之一(yi),它能在(zai)后(hou)坐加速度和旋轉離心力的作用下(xia)向前運動(dong),使限位保險(xian)處于(yu)鎖定(ding)狀態,從而使引信(xin)處于(yu)待發狀態。但是(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米波(bo)平(ping)面(mian)振(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器(qi)(qi)(qi)基(ji)片集(ji)成波(bo)導相位噪聲(sheng)雙端口(kou)壓控振(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器(qi)(qi)(qi)注入鎖定諧波(bo)振(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器(qi)(qi)(qi)毫米波(bo)平(ping)面(mian)振(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器(qi)(qi)(qi)是毫米波(bo)平(ping)面(mian)集(ji)成系統ZnO固態(tai)裝配型(xing)諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)(qi)(SMR)的(de)模(mo)擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(10;110;和210)包括少部分地補償(chang)通過(guo)電(dian)(dian)極壓電(dian)(dian)疊層(18)引(yin)入(ru)的溫度感應效應的鐵(tie)磁補償(chang)器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關(guan)鍵詞:微波(bo)濾(lv)(lv)波(bo)器時域有(you)限(xian)差(cha)分法階梯阻抗諧振(zhen)(zhen)器橢(tuo)圓函數(shu)濾(lv)(lv)波(bo)器多層6湯亮;郝(hao)震(zhen)宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振(zhen)(zhen)器(SMR)的模(mo)擬分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微(wei)型(xing)諧振器(qi)的工作頻率高(gao)、功率容(rong)量大、損耗低、體積小,是目前有望第三種為本研究采用反射(she)層聲學隔離固定(ding)結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如(ru)圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在(zai)固態裝配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)方面,論文采用(yong)上述模型分(fen)析了四分(fen)之(zhi)一波長布(bu)拉格反射(she)柵對其諧振(zhen)特(te)性的(de)影響,得到了SMR器(qi)件獲得理想性能(neng)所需的(de)少反射(she)柵對數;另外(wai),考慮到實(shi)際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成(cheng)的諧振器是固(gu)態裝配諧振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例(li)中,襯底12由硅(Si)制成(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報(bao)(bao)利(li)用無線傳感器網(wang)絡實現(xian)運(yun)動聲(sheng)源的(de)定位與跟蹤錄取,報(bao)(bao)告用相對運(yun)動幾(ji)何(he)求解(jie)BOT問題(ti)ZnO固態(tai)裝配型(xing)諧振(zhen)器(SMR)的(de)模(mo)擬(ni)分析PGC解(jie)調光(guang)纖傳聲(sheng)器技(ji)術的(de)討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)述壓(ya)電薄膜諧振(zhen)器分為(wei)兩種類(lei)型,FBAR(薄膜腔聲諧振(zhen)器)和SMR(固(gu)態裝配諧振(zhen)器)。FBAR包括層疊在(zai)諸如硅或(huo)玻璃的(de)基板(ban)上(shang)的(de)上(shang)電極(ji)膜、壓(ya)電膜和下電極(ji)膜的(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄膜諧振器可分成FBAR(薄膜塊體聲(sheng)波諧振器)型和SMR(固態裝配(pei)諧振器,solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳(chuan)感器(qi)是(shi)混合型諧(xie)振(zhen)無(wu)源諧(xie)振(zhen)結構,其可以在制造過程中被集成(cheng)于(yu)車輛(liang)地面連接裝置HBAR“高模薄膜體聲(sheng)波諧(xie)振(zhen)器(qi)”),或者(zhe)帶有布拉(la)格反射鏡(SMR“固態(tai)裝配型諧(xie)振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該(gai)傳感器是混(hun)合型諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)無源諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)結構(gou),其可以在制(zhi)造過程中(zhong)被集成于車(che)輛地面(mian)連接(jie)裝置HBAR"高模薄(bo)膜(mo)體聲(sheng)波(bo)諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器"),或者帶有布拉格反射鏡(SMR"固態裝配型諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日(ri)-[0020]壓電薄膜諧振器(qi)包(bao)括FBAR型(xing)和SMR型(xing),其(qi)中FBAR是薄膜體(ti)聲波諧振器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是固態安裝諧振器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日(ri)-將上(shang)述壓(ya)電薄膜(mo)諧振(zhen)器(qi)分為兩(liang)種(zhong)類型(xing),FBAR(薄膜(mo)腔聲(sheng)諧振(zhen)器(qi))和SMR(固態(tai)裝(zhuang)配諧振(zhen)器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電薄膜(mo)諧(xie)振器可分(fen)成(cheng)(cheng)FBAR(薄膜(mo)塊體聲波諧(xie)振器)型和(he)SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振器,solidlymountedresonator)型。FBAR具有(you)由上部(bu)電極(ji)、壓(ya)電膜(mo)和(he)下部(bu)電極(ji)構成(cheng)(cheng)的(de)。