化學機械研磨后清洗技術簡介_百度文庫
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芯(xin)片(pian)制造化學機械研磨廢水(shui)處理回用(yong)摘(zhai)要:化學機械研磨廢水(shui)產生(sheng)量大但總體污(wu)染物濃度不高,回用(yong)潛力(li)巨(ju)大,其處理及回用(yong)技術是芯(xin)片(pian)制造企業(ye)的研究。文章(zhang)。
化學機械研磨廢水處理及回用技術的研究進展-《環境科學與技術》
“楔形”TEM樣品的機(ji)械研(yan)磨制備技術張啟華,趙燕麗,高強,李明(ming),牛崇實,簡維廷(中芯國(guo)際集(ji)成(cheng)電路(lu)制造有限公(gong)司,上海201203)摘要(yao):介紹了一(yi)種用機(ji)械。
楔形TEM樣品的機械研磨制備技術-豆丁網
本發明(ming)提(ti)(ti)供了(le)一種化學機械研(yan)磨的(de)方法,包(bao)括下(xia)列步驟:提(ti)(ti)供半(ban)導體(ti)襯(chen)(chen)底(di),所(suo)述半(ban)導體(ti)襯(chen)(chen)底(di)上(shang)具有介(jie)(jie)質(zhi)層(ceng),所(suo)述介(jie)(jie)質(zhi)層(ceng)內包(bao)含通孔(kong)和(he)(he)/或(huo)溝槽(cao);在(zai)介(jie)(jie)質(zhi)層(ceng)上(shang)及通孔(kong)和(he)(he)/或(huo)溝槽(cao)的(de)。
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英特爾(er)半導體(大連)有限公(gong)司招聘化(hua)學機(ji)械研磨(mo)液(ye)(ye)技(ji)術員(yuan),發布時間:2010年04月09日(ri),職位(wei)(wei)類別:全職,工作地區:大連,職位(wei)(wei)描述(shu):化(hua)學機(ji)械研磨(mo)液(ye)(ye)技(ji)術員(yuan)工作要求:?輔助工程師。
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銅互(hu)連和(he)低K材料是半導體(ti)深(shen)亞(ya)微米工(gong)(gong)藝中涉及的兩(liang)個重(zhong)要的技(ji)術(shu),而(er)這(zhe)兩(liang)種新(xin)技(ji)術(shu)的發(fa)展也給傳統的化學機械(xie)研磨(CMP)工(gong)(gong)藝提出了挑戰。
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2012年1月(yue)18日-什么是研(yan)磨加工?發布時(shi)間:2013-01-18來源:機械專(zhuan)家網(wang)利用涂敷(fu)或壓(ya)嵌在(zai)研(yan)具上的磨料(liao)顆粒,通過(guo)研(yan)具與工件在(zai)一定壓(ya)力。
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先進銅化學機械研磨技術半導體工藝突破65nm節點-測試與測量-
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機械加工中哪些用到研磨工藝_百度知道
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