化學機械研磨后清洗技術簡介_百度文庫
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芯片制造化學機(ji)械研磨廢水(shui)(shui)處(chu)理(li)回用摘要(yao):化學機(ji)械研磨廢水(shui)(shui)產(chan)生量大但總體污(wu)染物濃度不高,回用潛(qian)力巨(ju)大,其處(chu)理(li)及回用技(ji)術是芯片制造企業的研究。文章。
化學機械研磨廢水處理及回用技術的研究進展-《環境科學與技術》
“楔(xie)形(xing)”TEM樣(yang)品(pin)的機械研磨制(zhi)備技術張啟華(hua),趙燕(yan)麗,高(gao)強,李(li)明,牛崇實,簡(jian)維(wei)廷(中(zhong)芯國際(ji)集成電路制(zhi)造有限公司,上海201203)摘要(yao):介(jie)紹(shao)了一種用機械。
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本(ben)發明提供(gong)了一種(zhong)化學機械研磨的方法,包(bao)括下列步驟(zou):提供(gong)半(ban)導體(ti)襯(chen)底(di),所(suo)(suo)述(shu)半(ban)導體(ti)襯(chen)底(di)上(shang)具(ju)有介質層(ceng),所(suo)(suo)述(shu)介質層(ceng)內包(bao)含通(tong)孔和/或溝槽;在介質層(ceng)上(shang)及(ji)通(tong)孔和/或溝槽的。
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英特爾半導體(ti)(大連(lian))有(you)限公司招聘(pin)化學機械(xie)研磨(mo)(mo)液技術(shu)員,發(fa)布時間:2010年04月09日,職位類別:全職,工作地(di)區:大連(lian),職位描述:化學機械(xie)研磨(mo)(mo)液技術(shu)員工作要求:?輔助工程師。
一種化學機械研磨的方法_百度搜索
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英特爾半導體(大連)有限公司招聘化學機械研磨液技術員
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應用材料公司推出先進的化學機械研磨拋光墊技術
森勒(le)(上(shang)海(hai))機械設備(bei)有限(xian)公(gong)司,引進德(de)國先進研(yan)磨(mo)技術,專業從事濕(shi)法研(yan)磨(mo)設備(bei)研(yan)究(jiu)、生(sheng)產的(de)高科技股份(fen)制(zhi)有限(xian)公(gong)司,專注(zhu)于材料研(yan)磨(mo)領域(yu),細度解決方案。擁有廣泛而先進的(de)生(sheng)產。
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銅互連(lian)和低K材料是半導體深亞微米工(gong)藝中涉及(ji)的兩(liang)個重要的技術,而(er)這兩(liang)種新技術的發展(zhan)也給(gei)傳統的化(hua)學機械研磨(CMP)工(gong)藝提出了(le)挑戰。
機械研磨設備圖片-慧聰網
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2012年1月18日(ri)-什么是研(yan)磨(mo)加工(gong)?發布時間:2013-01-18來源:機械專家網利用涂敷或壓嵌在(zai)研(yan)具上的磨(mo)料顆粒,通過研(yan)具與工(gong)件(jian)在(zai)一定壓力。
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先進銅化學機械研磨技術半導體工藝突破65nm節點-測試與測量-
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機械加工中哪些用到研磨工藝_百度知道
2013年(nian)7月(yue)26日-該項目開發(fa)的(de)(de)(de)納(na)米級高效(xiao)研(yan)磨加(jia)工(gong)技(ji)術在加(jia)工(gong)效(xiao)率、加(jia)工(gong)成本、加(jia)工(gong)質量和加(jia)工(gong)精度上具有明顯(xian)的(de)(de)(de)優勢,具有很好的(de)(de)(de)應用前(qian)景。項目組(zu)研(yan)制出的(de)(de)(de)采用本項新技(ji)術的(de)(de)(de)。
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