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2012年6月7日-大部(bu)分廠(chang)家(jia)無詢盤,而(er)硅(gui)(gui)粉廠(chang)家(jia)透露,以前用441級(ji)(40-120目(mu))金屬(shu)硅(gui)(gui)粉生產的三氯氫硅(gui)(gui)廠(chang)家(jia)現在也改(gai)變策略開始采購553級(ji)(40-120目(mu))金屬(shu)硅(gui)(gui)粉,欲將553取代441。

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2008年7月31日(ri)-三氯(lv)氫硅生(sheng)產過(guo)程產生(sheng)的(de)不凝氣以及三氯(lv)氫硅合成爐置換清(qing)爐廢氣,經洗(xi)(xi)滌塔水洗(xi)(xi)(一級(ji))處理。輸(shu)送產生(sheng)的(de)硅塵,通過(guo)網(wang)袋過(guo)濾器和(he)水環真空泵處理,廢水事故。

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本文針對這一(yi)瓶頸,介紹(shao)了四氯(lv)(lv)化(hua)硅氫(qing)化(hua)生產(chan)三氯(lv)(lv)氫(qing)硅技術,并研究了反(fan)應壓力(li)、氫(qing)氣與四氯(lv)(lv)化(hua)硅配比、反(fan)應溫度以(yi)及硅粉層高(gao)度對該(gai)技術轉(zhuan)化(hua)率的影(ying)響(xiang).同時,還介紹(shao)了該(gai)技術。

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