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2011年10月14日-免責(ze)聲明:機械(xie)(xie)專家(jia)網對刊(kan)登(deng)之(zhi)所有(you)信息不聲明或保證(zheng)其(qi)內容之(zhi)正確性(xing)(xing)或可靠性(xing)(xing);您于此接(jie)受并承認信賴任何(he)信息所生之(zhi)風(feng)險應(ying)自行承擔。機械(xie)(xie)專家(jia)網有(you)權但無(wu)。

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系(xi)統加工工藝(yi)(yi)方面的(de)研究工作,具有非(fei)常豐富的(de)研究經(jing)驗(yan)。本書(shu)的(de)主要內容包(bao)括:(1)硅的(de)濕(shi)法腐蝕工藝(yi)(yi)及(ji)其物理機制的(de)描述;(2)硅的(de)表面微機械加工技術;(3)LIGA工藝(yi)(yi);。

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硅(gui)微機械(xie)加工技術,作者:(法)M.埃爾溫斯波克//(捷)H.揚森(sen)譯(yi)者:姜巖峰,ISBN:9787502592585,化學(xue)工業,2008-05-01第1版2008-05-01第1次印(yin)刷。博(bo)庫(ku)網全場(chang)。

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