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碳化硅的生產(chan)工(gong)藝流程電阻(zu)爐是(shi)冶(ye)煉(lian)SiC的主要設備。冶(ye)煉(lian)工(gong)藝方法有新料(liao)法與熔(rong)燒(shao)料(liao)法。新料(liao)法是(shi)將(jiang)(jiang)配好的原材料(liao)直接裝(zhuang)入電阻(zu)爐的反應(ying)區冶(ye)煉(lian)SiC,熔(rong)燒(shao)料(liao)法是(shi)將(jiang)(jiang)配好。

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