鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年(nian)9月(yue)23日(ri)-鎢(wu)電極(ji)研磨(mo)工藝機械化焊(han)(han)(han)接(jie)電極(ji)頭表面粗糙(cao)度(du)焊(han)(han)(han)接(jie)工藝研磨(mo)機幾何形狀研磨(mo)砂輪(lun)焊(han)(han)(han)縫(feng)質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一(yi)種減少鎢化(hua)學機械研(yan)磨微刮痕的(de)工(gong)藝,提供一(yi)半導體基底,其制作鎢插塞的(de)主要步(bu)驟有光阻涂布(bu)、微影(ying),蝕刻。
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2013年6月22日-鞏義市(shi)佛瑞機械廠是專(zhuan)業(ye)生產(chan)鎢礦選礦設(she)備的(de)廠家[供]鎢礦石的(de)浮選工藝流程,選鎢礦設(she)備價格,[供]專(zhuan)業(ye)生產(chan)螺(luo)旋式振動研(yan)磨機10/14[供。
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黝圖1-6銅化學機械(xie)拋光(guang)工藝流程圖1-7雙嵌入形(xing)成鎢(wu)插塞和局部互連(lian)1.3鎢(wu)鑲嵌圖3—2拋光(guang)速率,均勻性和研磨臺轉速的依存(cun)性(32藝條(tiao)件(jian)拋光(guang)頭壓力-250hap;。
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且(qie)所述鎢栓(shuan)接觸孔(kong)(kong)或(huo)通孔(kong)(kong)的(de)近圓度有(you)一定(ding)(ding)提高(gao),并增大(da)了后(hou)續光刻工藝窗口,增大(da)后(hou)續工藝的(de)穩定(ding)(ding)度;所述改善(shan)鎢栓(shuan)化學機(ji)械研(yan)(yan)磨表現(xian)的(de)方(fang)法不僅提高(gao)金屬鎢沉(chen)積填充層研(yan)(yan)磨的(de)。
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一(yi)種(zhong)改善接(jie)觸(chu)孔之鎢化學機械研磨后平坦性的(de)方法,包括(kuo):步(bu)驟S1:在(zai)硅基襯底(di)上(shang)(shang)制(zhi)備前道器(qi)件和絕(jue)緣(yuan)介質(zhi)層;步(bu)驟S2:在(zai)接(jie)觸(chu)絕(jue)緣(yuan)介質(zhi)層上(shang)(shang)淀積(ji)對鎢金屬具有高研磨選擇比(bi)的(de)。
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