鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月23日-鎢電極研(yan)(yan)磨(mo)工藝機(ji)械(xie)化(hua)焊接電極頭表面粗(cu)糙度(du)焊接工藝研(yan)(yan)磨(mo)機(ji)幾(ji)何形狀研(yan)(yan)磨(mo)砂輪焊縫(feng)質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一(yi)(yi)種減少(shao)鎢(wu)化學機械研磨微刮痕的工藝,提供一(yi)(yi)半導體基底,其制作鎢(wu)插塞的主要步驟有光阻(zu)涂布(bu)、微影,蝕刻。
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2013年6月22日-鞏(gong)義市佛(fo)瑞機械廠(chang)是專業生產(chan)(chan)鎢礦(kuang)選(xuan)礦(kuang)設(she)備的廠(chang)家[供]鎢礦(kuang)石的浮(fu)選(xuan)工藝(yi)流程,選(xuan)鎢礦(kuang)設(she)備價格,[供]專業生產(chan)(chan)螺旋式振動研磨機10/14[供。
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黝圖(tu)1-6銅(tong)化學(xue)機械拋光(guang)工藝流程圖(tu)1-7雙嵌入形(xing)成鎢插塞(sai)和局部互連1.3鎢鑲嵌圖(tu)3—2拋光(guang)速率,均(jun)勻性和研磨臺轉(zhuan)速的依存性(32藝條件拋光(guang)頭壓(ya)力-250hap;。
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一(yi)種改善接觸(chu)孔之(zhi)鎢化學機械研磨(mo)后平坦性的(de)方(fang)法(fa),包括:步驟S1:在(zai)(zai)硅基襯底上制備(bei)前道(dao)器件和絕緣(yuan)介(jie)質(zhi)(zhi)層(ceng);步驟S2:在(zai)(zai)接觸(chu)絕緣(yuan)介(jie)質(zhi)(zhi)層(ceng)上淀(dian)積對鎢金屬具有高研磨(mo)選擇比的(de)。
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多采用三級(ji)(ji)跳汰、多級(ji)(ji)床選(xuan)(xuan)、跳尾再磨,搖床中礦(kuang)掃選(xuan)(xuan)的(de)貧富(fu)分選(xuan)(xuan)或合(he)選(xuan)(xuan)的(de)工藝流程。該流程適應(ying)鎢礦(kuang)石的(de)特點,避免了(le)過粉碎,強(qiang)化了(le)粗選(xuan)(xuan)段。鄭州(zhou)華昌機械制造有限。
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