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ULSI硅襯底化學機械研磨技術研究StudyofCMPLappingTechnique
硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)(meng)冶(ye)煉渣簡稱(cheng)硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)(meng)渣,是(shi)冶(ye)煉硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)(meng)合金(jin)的(de)過(guo)程中產生的(de)固體廢(fei)渣,由于冶(ye)煉工藝的(de)限制(zhi),硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)(meng)冶(ye)煉渣中含有一定量的(de)硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)(meng)合金(jin),尤其是(shi)硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)(meng)干渣,其中的(de)硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)(meng)合金(jin)含量較高,。
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高精度氣壓燒結氮化硅陶瓷球的研磨技術-《機械工藝師》1995年08期
產(chan)品(pin)供(gong)應球(qiu)磨機研磨工(gong)作流程工(gong)藝公司名稱:國昊機械發布日期:2014-04-10有效期限(xian):90天英文別名:免(mian)責聲明:以上(shang)所展示的信息由(you)企業自行(xing)提供(gong),內(nei)容的。
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2013年3月22日(ri)-化(hua)學機械拋(pao)光過程使(shi)用安裝在剛性拋(pao)光平盤(pan)上(shang)的(de)柔性拋(pao)光墊,硅片被(bei)壓在拋(pao)光目前(qian)常(chang)用的(de)拋(pao)光方(fang)法有以下幾(ji)種氧化(hua)鋅材料(liao)的(de)切割(ge)、研(yan)磨、拋(pao)光工藝(研(yan)磨膏。
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本發明公開了一種化學(xue)機(ji)械研(yan)磨工(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)的(de)(de)優化方法,該方法包括:A、提供一實驗(yan)樣品,并按照(zhao)當前的(de)(de)化學(xue)機(ji)械研(yan)磨CMP工(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)參(can)數對(dui)實驗(yan)樣品進行CMP工(gong)(gong)(gong)藝(yi)(yi)后,采用(yong)等離(li)子體增強化學(xue)氣相。
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